Кулиш А. М., Фазылханов О. Р.

В рамках сервиса MPW, организованного НИУ МИЭТ, на основе технологического процесса GA05-D-L-01 АО «Светлана-Рост» разработаны МИС МШУ X-диапазона. В докладе описаны этапы и результаты моделирования и их сравнение с измерениями S-параметров, коэффициента шума и потребляемой и выходной мощности.

Ключевые слова: GaAs pHEMT; СВЧ МИС; МШУ; двухпозиционный коммутатор; приемо-передающий модуль.

Монолитные интегральные схемы (МИС) малошумящих усилителей (МШУ) X-диапазона частот являются незаменимой частью приемо-передающих модулей в системах фазированных антенных решеток и измерительной аппаратуре. Ключевыми характеристиками МИС МШУ являются коэффициент шума и коэффициент усиления в требуемом диапазоне частот, величина потребляемой мощности.

В рамках сервиса MPW, организованного НИУ МИЭТ, предприятием АО «Микроволновые системы» разработаны МИС МШУ и МШУ с байпас-каналом X-диапазона на основе технологического процесса GaAs pHEMT с проектной нормой 0,5 мкм GA05-D-L-01, изготовленные на отечественном контрактном производстве АО «Светлана-Рост».