МИС векторного модулятора Ku-диапазона: особенности схемотехнической и топологической реализации
А.В. Кондратенко1, П.С. Сорвачев1, А.С. Щербаков2
1Обособленное подразделение АО «Микроволновые системы» в г. Нижний Новгород
2Обособленное подразделение АО «Микроволновые системы» в г. Саратов
Опубликовано в Сборнике статей XIII Всероссийской научно-технической конференции «Электроника и микроэлектроника СВЧ», Санкт-Петербург, СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 27 – 31 мая 2024г., С. 272-276
Аннотация: в докладе представлены некоторые особенности схемотехнической и топологической реализации монолитной интегральной схемы управления амплитудой и фазой сигнала Ku- диапазона частот и результаты измерения электрических параметров опытных образцов. Проект выполнен на основе технологического процесса 0,15 мкм GaAs pHEMT. Драйвер управления последовательно-параллельного типа в составе микросхемы реализован на основе опциональных нормально открытых и нормально закрытых транзисторов с длиной затвора 0,5 мкм.
Ключевые слова: монолитная интегральная схема, транзистор с высокой подвижностью электронов, векторный модулятор, параметры рассеяния, последовательно-параллельный драйвер управления, схема стабилизации затворного смещения, технологический процесс GaAs pHEMT
Введение
Разработка собственной электронной компонентной базы (ЭКБ) высокой степени интеграции для применения в приемо-передающих модулях (ППМ) позволяет решить важную задачу оптимизации технических и экономических показателей комплексного проекта.
Проектирование многофункциональных монолитных интегральных схем (МИС) СВЧ-диапазона частот является сложной и трудоемкой задачей, для решения которой необходимо обладать компетенциями в различных областях. В связи со сложностью и порой невозможностью на этапе расчета учесть все нюансы, например, как технологический разброс параметров на пластине и паразитное электромагнитное влияния друг на друга топологически находящихся рядом функциональных узлов тракта, необходимо изготовление опытных образцов и измерение их характеристик. После анализа полученных данных выделяются важные особенности, позволяющие улучшить параметры разрабатываемой МИС, и после взвешивания всех за и против, при необходимости, выполняется корректировка проекта.
В докладе представлены некоторые особенности разработки GaAs МИС управления амплитудой и фазой Ku-диапазона частот MSP010D. Разработка велась в интересах собственных подразделений, занимающихся проектированием и производством радиоэлектронных узлов, модулей и систем.
